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從其原理來(lái)說,可以(yǐ)看出(chū)選購匀(yún)膠機(jī)需(xū)要注意的(dí)幾個(gè)細(xì)節(jié)"
1, 旋轉(zhuǎn)速(sù)度:轉速的快(kuài)慢(màn)和控製度直(zhí)接(jiē)關係到(dào)旋塗層的(dí)厚度(dù)控製和膜層(céng)均(jūn)匀性。如(rú)果標示(shì)的轉(zhuǎn)速(sù)和電機的(dí)實際(jì)轉(zhuǎn)速誤(wù)差很(hěn)大,對(duì)於要(yào)求(qiú)塗覆的(dí)科研(yán)人員(yuán)來說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實驗數據的(dí)。產(chǎn)的(dí)某(mǒu)些匀膠(jiāo)機隻(zhī)能提供轉速範圍(wéi),並(bìng)不能標定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。口的匀膠機雖然(rán)大分能標(biāo)定(dìng)轉(zhuǎn)速,但(dàn)是(shì)大(dà)分轉(zhuǎn)速度沒有際標準認(rèn)定。建議(yì)購(gòu)買轉速(sù)控製(zhì)方麵有(yǒu)際認(rèn)定(dìng)標準的,比(bǐ)如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等(děng)。
2, 真(zhēn)空(kōng)吸(xī)附係(xì)統(tǒng)的構(gòu)
真空(kōng)泵(bèng)定要(yào)無油(yóu)的,壓力(lì)標(biāo)定準確(què),內(nèi)的(dí)無(wú)油真空(kōng)泵(bèng)實在(zài)不(bù)敢恭(gōng)維。因為何的油汙都(dū)可能(néng)堵塞(sāi)真(zhēn)空(kōng)管(guǎn)道,如(rú)果真空吸(xī)附(fù)力(lì)降低,會導(dǎo)致(zhì)基片(piàn)吸附(fù)不住(zhù)而(ér)產生"飛(fēi)片(piàn)"的(dí)情(qíng)況,還會(huì)讓滴(dī)膠液不(bù)慎入真(zhēn)空管道(dào)係統(tǒng)成(chéng)堵(dǔ)塞。用過產匀(yún)膠機(jī)的客(kè)戶常常會關心怎(zěn)麼清(qīng)洗的問題(tí),這(zhè)點許(xǔ)多外(wài)的(dí)匀膠機(jī)做得(dé)不錯,他們有通(tōng)過聯(lián)動(dòng)機(jī)製,如(rú)果真(zhēn)空(kōng)吸附力不夠(gòu)的(dí)時候(hòu),不(bù)會開始旋(xuán)轉(zhuǎn)。
3, 材(cái)質的選擇(zé)
對於半導體(tǐ)化(huà)行業(yè)的應用(yòng)來(lái)說,材質的選擇尤為關(guān)鍵(jiàn),大分匀(yún)膠機(jī)采(cǎi)用(yòng)的(dí)是不(bù)鏽鋼(gāng)或(huò)者普通(tōng)塑(sù)料材(cái)質,因為這種(zhǒng)材(cái)質的成(chéng)本(běn)很低,不鏽鋼的對於各(gè)類化(huà)膠(jiāo)液(yè)的抗腐(fǔ)蝕性不太(tài)好,塑(sù)料對於較溫度和(hé)壓力下易產生(shēng)變形。如果這種變(biàn)形引(yǐn)起(qǐ)托盤(pán)的(dí)位置失去(qù)水平的話(huà),將會導致(zhì)旋塗時,時(shí)時低(dī)的顛簸(bò)狀態。自(zì)然(rán)無(wú)法(fǎ)得到(dào)好(hǎo)的(dí)旋塗效果(guǒ)。例如(rú)美(měi)等型號(hào)都(dū)是(shì)采用天然聚(jù)丙(bǐng)烯(NPP)或(huò)者(zhě)聚四氟乙烯(xī)(氟(fú)隆,PTFE)材(cái)質。這兩(liǎng)種材(cái)質具備綠色環保,節(jié)約資源,重量(liáng)輕(qīng),強度(dù)大,抗(kàng)衝擊性能(néng)好(hǎo),堅固耐(nài)用,花紋自(zì)然,光澤(zé)度好(hǎo)等優點。