質量量(liáng)控製器(qì)的英(yīng)文(wén)名字(zì)叫"MASS FLOW CONTROLLER"(簡稱MFC)，它(tā)通常由(yóu)量傳感(gǎn)器(qì)，量調(tiáo)節閥(fá)，放大控(kòng)製電(diàn)路和(hé)分(fēn)器控製(zhì)通(tōng)道等件組(zǔ)成(chéng)
。

用途與(yǔ)點

質(zhì)量量(liáng)控製(zhì)器(qì)(Mass Flow Controller縮(suō)寫(xiě)為MFC)用於對(duì)於氣體或(huò)者液體的(dí)質(zhì)量量行(háng)測(cè)量(liáng)和控製(zhì)
。擴(kuò)散，氧(yǎng)化，分子束外延，CVD，等(děng)離子(zǐ)刻(kè)蝕，濺(jiàn)射(shè)，離子(zǐ)注(zhù)入(rù)，以及真空鍍(dù)膜(mó)設(shè)備(bèi)，光(guāng)纖熔煉，微反(fǎn)應(yīng)裝(zhuāng)置，混(hùn)氣(qì)配氣(qì)係統(tǒng)，毛細(xì)管(guǎn)測量(liáng)氣象(xiàng)色(sè)譜(pǔ)儀，光導纖維製設(shè)備中
。並(bìng)廣(guǎng)泛(fàn)用於石油(yóu)化(huà)
。冶(yě)金(jīn)，製(zhì)藥(yào)等
。點(diǎn):度(dù)，重復(fù)性好
。

般類(lèi)型

量計般分為以下幾(jī)種類型:

1. 容積式量計(jì)，又稱定排量量(liáng)計
。它利用機(jī)械測量(liáng)元件(jiàn)把(bǎ)體連續不斷(duàn)的分割成(chéng)單個已知的(dí)體積(jī)分，根(gēn)據測量(liáng)室逐次重(zhòng)復(fù)的(dí)充滿和排放該(gāi)體(tǐ)積分體的次數來測(cè)量體體積量
。

2. 浮(fú)子式(shì)量計，又(yòu)稱(chēng)轉子(zǐ)量計(jì)，是變麵積式量計的種(zhǒng)，在(zài)根(gēn)由(yóu)下向上擴(kuò)大(dà)的(dí)垂直(zhí)錐管中(zhōng)，圓(yuán)形橫截麵(miàn)的(dí)浮(fú)子(zǐ)的(dí)重力是由(yóu)液體動(dòng)力承受的，從而使(shǐ)浮子可(kě)以(yǐ)在(zài)錐管中自由的上升(shēng)和(hé)下降
。

3. 差壓式(shì)量計 ，是根據(jù)安裝(zhuāng)於管道中(zhōng)量(liáng)檢(jiǎn)測件(jiàn)產(chǎn)生的差壓(yā)，已知的體的(dí)條件(jiàn)和檢測間(jiān)與(yǔ)管道(dào)的(dí)尺寸來計算量(liáng)的(dí)儀表
。

4. 渦(wō)街量(liáng)計(jì)，在(zài)體中安放(fàng)根(gēn)非綫型遊渦(wō)發生體(tǐ)，體(tǐ)在(zài)發生(shēng)體兩(liǎng)側(cè)交替的(dí)分離釋放出兩串規則(zé)地交(jiāo)錯(cuò)排(pái)列(liè)的遊(yóu)渦的(dí)儀表
。

5. 渦(wō)輪量(liáng)計，是速度式量計中(zhōng)的主要(yào)種(zhǒng)類(lèi)，它(tā)采用多(duō)葉片(piàn)的(dí)轉(zhuǎn)子(渦輪)感(gǎn)受(shòu)體平(píng)均速，從而推導出量(liáng)或總量(liáng)的儀表(biǎo)
。

6. 聲(shēng)量(liáng)計，通過(guò)檢(jiǎn)測體動對聲束(或(huò)聲脈(mài)衝)的(dí)作用(yòng)以測(cè)量量的儀表
。

7. 電磁量(liáng)計，電(diàn)磁量(liáng)計是根(gēn)據法拉(lā)弟電(diàn)磁(cí)感應(yīng)定律(lǜ)製成(chéng)的(dí)種(zhǒng)測量導電性液體(tǐ)的儀(yí)表(biǎo)
。電磁量計有係(xì)列優(yōu)良(liáng)性,可(kě)以(yǐ)解決(jué)其它量計不易應用的問(wèn)題,如(rú)髒汙，腐(fǔ)蝕(shí)的測量(liáng)
。

8. 熱(rè)式量(liáng)計(jì)，熱式(shì)量計傳感(gǎn)器包含兩個(gè)傳感元件，個速度傳(chuán)感器和(hé)個溫(wēn)度(dù)傳感器(qì)
。它們自動地補償和(hé)校正氣(qì)體溫度(dù)變化
。儀(yí)表的(dí)電加(jiā)熱分將(jiāng)速度傳(chuán)感器加熱到於況溫度的(dí)某(mǒu)個定(dìng)值(zhí)，使(shǐ)速度(dù)傳感(gǎn)器和測(cè)量(liáng)況溫(wēn)度的傳感器之間(jiān)形成(chéng)恒(héng)定(dìng)溫(wēn)差
。當保持(chí)溫(wēn)差不(bù)變(biàn)時，電加(jiā)熱(rè)消(xiāo)耗(hào)的能量，也可(kě)以(yǐ)說(shuō)熱消散(sàn)值，與(yǔ)過(guò)氣體(tǐ)的(dí)質(zhì)量(liáng)量成(chéng)正(zhèng)比(bǐ)，它(tā)適合單(dān)氣體和固定比例多(duō)組份氣體(tǐ)的(dí)測(cè)量
。

科裏奧(ào)利(lì)式量(liáng)計，其原(yuán)理(lǐ)是利(lì)用體(tǐ)在(zài)振管內動時產(chǎn)生的科氏力(lì)，以(yǐ)直(zhí)接或(huò)間接地方法測(cè)量(liáng)其力(lì)而(ér)得(dé)到(dào)體質量(liáng)量
。