數字式(shì)四探針(zhēn)測(cè)試儀(yí)是運(yùn)用四(sì)探針測(cè)量原理的(dí)多(duō)用(yòng)途綜合測量設(shè)備(bèi)。該(gāi)儀(yí)器按照(zhào)單(dān)晶矽物理(lǐ)測(cè)試(shì)方(fāng)法(fǎ)家標(biāo)準(zhǔn)並(bìng)參(cān)考美 A.S.T.M 標準

而(ér)的(dí)，用(yòng)於(yú)測(cè)試(shì)半導體(tǐ)材(cái)料電阻(zǔ)率及方(fāng)塊電阻(薄層(céng)電(diàn)阻)的

用儀器。儀(yí)器由(yóu)主機(jī)，測(cè)試台，四(sì)探針探頭，計算(suàn)機等分(fēn)組(zǔ)成，測

量(liáng)數據既(jì)可(kě)由主機直接(jiē)顯示，亦可由計(jì)算(suàn)機控(kòng)製(zhì)測試(shì)采集(jí)測(cè)試數據到(dào)

計算機(jī)中加以分析，然(rán)後(hòu)以(yǐ)表格，圖形方式統計分析顯(xiǎn)示(shì)測試結果。

應(yīng)用(yòng)

本儀器適(shì)用(yòng)於半(bàn)導體(tǐ)材(cái)料廠，半導(dǎo)體(tǐ)器件(jiàn)廠，科研(yán)單(dān)位，等(děng)院校(xiào)對半導體材料(liào)的(dí)電阻性能測試(shì)。

四探(tàn)針軟件(jiàn)測試係(xì)統(tǒng)是個運行在計算(suàn)機(jī)上(shàng)擁有友好(hǎo)測試界麵的(dí)用(yòng)戶程序，通過(guò)此測試程序(xù)輔(fǔ)助(zhù)使用戶簡(jiǎn)便地(dì)行各項測(cè)試及獲得(dé)測試數據並對測試(shì)數(shù)據行統計(jì)分(fēn)析。

測(cè)試程(chéng)序控製四探(tàn)針測試(shì)儀(yí)行測量(liáng)並(bìng)采集(jí)測(cè)試數據，把采集到(dào)的(dí)數(shù)據(jù)在(zài)計(jì)算(suàn)機(jī)中加(jiā)以分析，然後把測試(shì)數(shù)據(jù)以表(biǎo)格(gé)，圖形直觀地記(jì)錄，顯示出(chū)來。用戶(hù)可對采集到(dào)的數據(jù)在電腦(nǎo)中保(bǎo)存或(huò)者(zhě)打(dǎ)印以備(bèi)日後(hòu)參(cān)考和(hé)查看(kàn)，還(huán)可以把(bǎ)采集到的(dí)數據輸出(chū)到(dào)Excel中，讓用戶(hù)對數(shù)據行各種數(shù)據分(fēn)析(xī)

概述

數字式四探(tàn)針測試(shì)儀是(shì)運用(yòng)四探(tàn)針(zhēn)測量原理的(dí)多用(yòng)途(tú)綜(zōng)合測量設備。該(gāi)儀(yí)器按照單晶矽(guī)物(wù)理測(cè)試(shì)方法(fǎ)家(jiā)標(biāo)準並參考美(měi) A.S.T.M 標準

而(ér)的(dí)，用於測試(shì)半導體(tǐ)材(cái)料電阻(zǔ)率及方塊電阻(zǔ)(薄層(céng)電(diàn)阻)的(dí)

用儀(yí)器。儀(yí)器由(yóu)主機(jī)，測(cè)試台(tái)，四探針(zhēn)探頭，計算(suàn)機等分(fēn)組(zǔ)成，測(cè)

量數(shù)據既可(kě)由(yóu)主機(jī)直接顯示(shì)，亦(yì)可(kě)由(yóu)計(jì)算(suàn)機控製測試采集(jí)測試數據到

計算機(jī)中(zhōng)加(jiā)以(yǐ)分(fēn)析(xī)，然後以表格，圖(tú)形方式統(tǒng)計(jì)分析顯(xiǎn)示測(cè)試(shì)結(jié)果。