數字(zì)式四探針(zhēn)測試(shì)儀(yí)是運用四探(tàn)針測量(liáng)原(yuán)理(lǐ)的多(duō)用途(tú)綜合(hé)測量設備
。該儀器(qì)按照單晶(jīng)矽(guī)物理測(cè)試方法(fǎ)家(jiā)標準並參(cān)考(kǎo)美 A.S.T.M 標準而的，用於(yú)測試(shì)半(bàn)導體材(cái)料(liào)電阻率及(jí)方塊電(diàn)阻(薄層電阻(zǔ))的(dí)用儀器
。
    儀(yí)器(qì)由主(zhǔ)機，測試(shì)台(tái)，四探針(zhēn)探(tàn)頭(tóu)，計算(suàn)機等分(fēn)組成，測量數(shù)據既可(kě)由主(zhǔ)機(jī)直接顯(xiǎn)示，亦可(kě)由(yóu)計算(suàn)機控製(zhì)測(cè)試采(cǎi)集(jí)測試(shì)數據(jù)到計(jì)算(suàn)機中(zhōng)加(jiā)以(yǐ)分(fēn)析，然後以表格，圖形方式(shì)統(tǒng)計分析顯(xiǎn)示測試結果(guǒ)
。
    儀器采用(yòng)了新(xīn)電(diàn)子行(háng)，裝(zhuāng)配(pèi)
。具(jù)有(yǒu)能(néng)選(xuǎn)擇(zé)直觀，測(cè)量取數(shù)快，度(dù)，測量(liáng)範圍寬，穩定性好，結(jié)構(gòu)緊(jǐn)湊，易(yì)操作(zuò)等點
。
    本(běn)儀器(qì)適用(yòng)於半(bàn)導體(tǐ)材(cái)料廠，半導(dǎo)體(tǐ)器件廠，科研(yán)單(dān)位(wèi)，等(děng)院校對(duì)半(bàn)導體(tǐ)材(cái)料(liào)的電阻性能測試
。
 四(sì)探(tàn)針軟件(jiàn)測試係統(tǒng)是個運(yùn)行在計算機(jī)上(shàng)擁有友好測試(shì)界麵的(dí)用(yòng)戶(hù)程序，通過此測試程(chéng)序(xù)輔助使用戶(hù)簡便(biàn)地行各項(xiàng)測試及獲得測試數據(jù)並對(duì)測(cè)試(shì)數(shù)據(jù)行統計分(fēn)析
。
    測試程(chéng)序(xù)控(kòng)製四探針(zhēn)測(cè)試儀行測(cè)量(liáng)並采(cǎi)集(jí)測(cè)試(shì)數據，把采集到的(dí)數(shù)據(jù)在計(jì)算機中加以分析，然後把(bǎ)測(cè)試數據(jù)以(yǐ)表格，圖形(xíng)直觀地(dì)記錄(lù)，顯(xiǎn)示(shì)出來(lái)
。用(yòng)戶可對采(cǎi)集到的(dí)數(shù)據在(zài)電腦(nǎo)中保存或(huò)者打(dǎ)印以(yǐ)備日(rì)後參考和查看，還(huán)可以把采(cǎi)集(jí)到的(dí)數據(jù)輸(shū)出(chū)到(dào)Excel中，讓用戶對數據行各(gè)種數據分析(xī)