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電(diàn)容電(diàn)壓性測試儀 型(xíng)號:HAD-CV300
1.HAD-CV300引言
HAD-CV300型電容(róng)電壓(yā)(C-V)性測(cè)試儀是測試頻(pín)率(shuài)為(wéi)1MHz的數(shù)字(zì)式電(diàn)容測(cè)試(shì)儀(yí)器。用於測量半(bàn)導體器(qì)件(jiàn)PN結勢(shì)壘在不同偏壓下的電容(róng)量,也(yě)可(kě)測試(shì)其(qí)它(tā)電(diàn)容。
儀器有(yǒu)較(jiào)的分辨(biàn)率,電容量是(shì)四(sì)位讀(dú)數,可分辨(biàn)到(dào)0.001pF,偏置電壓(yā)分(fēn)辨(biàn)率(shuài)為(wéi)0.01V,漏電較小(xiǎo)分(fēn)辨(biàn)率為(wéi)0.01μA或0.1μA(可(kě)選)。
該(gāi)測試(shì)儀(yí)器(qì)性(xìng)能穩定(dìng)可靠,能(néng)齊,度,操作(zuò)簡單,適(shì)用(yòng)於(yú)元(yuán)件廠家,科研(yán),等院校等(děng)單位(wèi)。
2. 作(zuò)原(yuán)理
CV法(fǎ)利用PN結(jié)或肖基勢(shì)壘(lěi)在(zài)反(fǎn)向偏(piān)壓時的電容性(xìng),可(kě)以(yǐ)獲(huò)得材料中雜(zá)質(zhì)濃(nóng)度(dù)及其(qí)分(fēn)布的信(xìn)息(xī),這(zhè)類測(cè)量成(chéng)為C-V測(cè)量(liáng)。這種測(cè)量可以提供材料(liào)橫截麵(miàn)均(jūn)匀性及縱(zòng)向雜質濃(nóng)度的分(fēn)布(bù)信(xìn)息。
組成半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn)的(dí)基(jī)本結構的(dí)PN結具有(yǒu)電(diàn)容(róng)效應(yīng)(勢(shì)壘(lěi)電容),加(jiā)正向偏壓時(shí),PN結(jié)勢壘區(qū)變窄(zhǎi),勢壘電容變大;加反(fǎn)向偏壓時,PN結(jié)勢壘區(qū)變(biàn)寬,勢(shì)壘(lěi)電容變(biàn)小。
該儀(yí)器采用電(diàn)電(diàn)壓(yā)測(cè)量(liáng)方法,它(tā)用微處理器通(tōng)過(guò)8 次(cì)電壓(yā)測量(liáng)來計(jì)算(suàn)每(měi)次測量後(hòu)要求的參(cān)數(shù)值(zhí)。用(yòng)個相(xiāng)敏(mǐn)檢波器和模數轉換器(qì)順(shùn)序快(kuài)速成電壓測量。正(zhèng)交(jiāo)測量(liáng)通(tōng)過(guò)交換測(cè)量(liáng)信(xìn)號的(dí)相(xiāng)位(wèi)來行(háng),而不是(shì)參考(kǎo)相位檢(jiǎn)測。因而(ér)不需要(yào)的(dí)模擬(nǐ)相位(wèi)轉換(huàn)成(chéng)電壓(yā)矩(jǔ)形波(bō)電路。通過(guò)從(cóng)同個頻信號源(yuán)形成測試(shì)信(xìn)號和(hé)參(cān)考信號,來保(bǎo)證(zhèng)正確的(dí)相位(wèi)關(guān)係(xì)。由微處(chǔ)理器(qì)根據已知(zhī)的(dí)頻率和測試(shì)信號(hào)相位,用(yòng)ROM 存(cún)儲器內的程(chéng)序和所存儲的按鍵(jiàn)選擇(zé)來(lái)控(kòng)製測(cè)量順序(xù),以及存儲在RAM 中的(dí)校(xiào)準數(shù)據(jù)來(lái)計算被測(cè)元件(jiàn)數(shù)值。
3. HAD-CV300參(cān)數(shù)
3.1. 測(cè)試信(xìn)號頻(pín)率(shuài):1.000MHz±0.01%
3.2. 測(cè)試信(xìn)號(hào)電壓:≤100mVrms
3.3. 測(cè)量(liáng)速(sù)率:慢3次/秒(miǎo),快5次/秒(miǎo)
3.4. 測量範圍:
電容C:0.001-10000 pF
漏(lòu)電:0.01-19.99μA
3.5. 直偏壓(yā):儀(yí)器自帶偏壓0.01-35V,分辨率(shuài):0.01V;(可外接偏(piān)壓源拓(tuò)展,較大偏壓輸(shū)入為(wéi)100V)
3.6. 作(zuò)誤差:±5.0%±2字(zì)
3.7. 預熱時間(jiān):30min
3.8. 供(gōng)電電(diàn)源(yuán):
交電(diàn)壓:220V±10%,頻率(shuài):50Hz±5%,消(xiāo)耗(hào)率:≤40W
3.9. 作環(huán)境
溫度(dù):0-40℃, 濕度:≤65%