隨著(zhuó)的發展(zhǎn)
，電(diàn)子式數字化(huà)並利(lì)用(yòng)微機行數據處理的計量儀(yí)器(qì)，裝置得到廣(guǎng)泛應用(yòng)
，並在(zài)逐步(bù)替代老(lǎo)式傳(chuán)統的(dí)純機械(xiè)式儀器。用於檢(jiǎn)定(dìng)各類示表示值(zhí)誤差的(dí)SJ2000型光(guāng)柵(zhà)式示表檢定(dìng)儀就(jiù)是(shì)例。

作原(yuán)理(lǐ)

光(guāng)柵式示表檢(jiǎn)定(dìng)儀是(shì)利(lì)用光柵測長(cháng)原理
，把直綫(xiàn)位移變成電信號
，經前(qián)置放(fàng)大，分相，整形，電子(zǐ)細分(fēn)
，將(jiāng)脈(mài)衝信(xìn)號行(háng)記(jì)數(shù)和顯示
，並利用(yòng)微處理器行數據處(chǔ)理
，zui後(hòu)由微(wēi)型(xíng)打(dǎ)印機打印出檢(jiǎn)定(dìng)數據和結果(guǒ)。其(qí)框圖如(rú)下 。

光柵(zhà)測(cè)長的(dí)原理是(shì)將(jiāng)光源發(fā)出的光
，通過望遠(yuǎn)係(xì)統(tǒng)變(biàn)為平行(háng)光
，照(zhào)射到(dào)柵綫(xiàn)麵(miàn)相(xiāng)對的(dí)透(tòu)射(shè)式標(biāo)尺(chǐ)光柵和示光柵上(shàng)
，當(dāng)標(biāo)尺光(guāng)柵相(xiāng)對(duì)固(gù)定(dìng)的示光柵沿(yán)柵綫垂直方向(xiàng)移(yí)動時
，則所產(chǎn)生的(dí)明(míng)暗相間(jiān)的莫爾條(tiáo)紋沿柵綫(xiàn)方向移動。兩塊光(guāng)柵(zhà)尺相(xiāng)對(duì)移(yí)動個(gè)柵距
，莫爾條(tiáo)紋(wén)的(dí)光強周期(qī)地(dì)變(biàn)化次(cì)
，並掃過(guò)安放(fàng)在示(shì)光柵(zhà)前(qián)的(dí)四(sì)隻光電元(yuán)件(jiàn)
，從(cóng)而(ér)產生兩路正弦電信(xìn)號
，經電(diàn)路係統處理(lǐ)後
，變成脈衝信號。由於(yú)儀(yí)器(qì)測杆與標(biāo)尺(chǐ)光柵(zhà)剛性(xìng)連(lián)接
，故(gù)測杆位移(yí)L與脈衝信(xìn)號的關係(xì)可(kě)用(yòng)下(xià)式(shì)表達

L=A?N=

式(shì)中
，A-脈(mài)衝(chōng)當量;n-電(diàn)路細(xì)分能(néng)力(lì);k-光(guāng)柵綫(xiàn)紋(wén)密(mì)度;N-脈(mài)衝數。

脈(mài)衝當量是每個(gè)脈(mài)衝相(xiāng)當的位(wèi)移(yí)尺(chǐ)寸。設(shè)n=100
，k=100
，N=1
，則(zé)

L= ×1=0?1μm

上(shàng)式說明(míng)
，當采用(yòng)100綫(xiàn)光柵時
，電(diàn)信號經過100細分(fēn)後(hòu)
，測(cè)杆每移動0?1μm
，電路(lù)將(jiāng)給出個電(diàn)脈衝。由微機記(jì)取(qǔ)脈衝數即(jí)可(kě)準確地(dì)得到被測(cè)尺寸(cùn)大小。