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淺析少子壽命測試儀的使用

更新(xīn)時(shí)間(jiān):2020-08-21  |  點擊率(shuài):1157
  少子(zǐ)壽(shòu)命(mìng)測(cè)試儀(yí)是款矽(guī)片(piàn)少子(zǐ)壽命測試儀(yí),不(bù)僅適用於矽(guī)片(piàn)少(shǎo)子壽命(mìng)的測量,更(gēng)適(shì)用於矽棒(bàng),矽芯,檢磷(lín)棒,檢硼棒,籽晶(jīng)等(děng)多(duō)種(zhǒng)不規則形(xíng)狀矽(guī)少子(zǐ)壽命(mìng)的測(cè)量(liáng)。
 
  使(shǐ)用前的檢(jiǎn)查(chá):
 
  開機1,檢(jiǎn)測所有電源連(lián)接(jiē)無(wú)誤(wù)後,按Power鍵(jiàn)依次打開DOS係統(上麵(miàn))和(hé)Window係統(tǒng)(下麵(miàn))的控(kòng)機。
 
  2,預(yù)熱(rè)(10分鐘以(yǐ)上)
 
  3,檢測前準備(bèi)(1)雙(shuāng)擊wintau32圖標(biāo)入(rù)軟件(jiàn);;(2)每次(cì)開(kāi)機(jī)後Measure/Initialize行(háng)初始化。
 
  使(shǐ)用步(bù)驟:
 
  (1)接上電源(yuán)綫以及用頻連(lián)接(jiē)綫將(jiāng)CZ與示波器(qì)Y輸入端接(jiē)通,開(kāi)啟示(shì)波器。
 
  (2)將(jiāng)清潔處理(lǐ)後的樣品置於電(diàn)上(shàng)麵(miàn),為提靈敏(mǐn)度,請(qǐng)在電上塗抹點(diǎn)自(zì)來水(shuǐ)(注(zhù)意:塗(tú)水不(bù)可過多,以(yǐ)免水入光(guāng)照(zhào)孔(kǒng))注(zhù)意(yì):塗(tú)水(shuǐ)不可(kě)過多,以免水入光照孔。
 
  (3)開啟總電(diàn)源KD,預熱15分鐘,按下(xià)K接通脈衝(chōng)電(diàn)路電源(yuán),旋轉KW,適當調電壓。關機(jī)時(shí),要(yào)把(bǎ)開(kāi)關(guān)K按起(qǐ)關(guān)機時,按起。
 
  (4)調整示(shì)波器(qì)電(diàn)平及釋抑(yì)時間(jiān),內(nèi)同步(bù),Y軸(zhóu)衰減X軸掃描速度及曲綫(xiàn)的(dí)上下左右位置,使(shǐ)儀(yí)器輸出的數(shù)衰減光(guāng)電導信(xìn)號(hào)波形(xíng)穩(wěn)定下來(lái)。
 
  少(shǎo)子壽命測試(shì)儀(yí)少(shǎo)子測(cè)量程(chéng)從1μs到6000μs,矽料電阻率下(xià)限達0.1Ω.cm(可(kě)擴展至0.01Ω.cm)。測試過程程動態曲綫監控,少子壽命測(cè)量(liáng)可靈敏地(dì)反(fǎn)映(yìng)單晶體重(zhòng)金(jīn)屬汙染(rǎn)及(jí)陷阱效(xiào)應表(biǎo)麵(miàn)復(fù)合效應等缺陷情況,是原(yuán)生多晶矽(guī)料及半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)及太陽能拉(lā)晶企業少子壽(shòu)命(mìng)測量(liáng)儀器(qì)。