所謂(wèi)
塵埃粒(lì)子計(jì)數器的重(zhòng)合誤(wù)差是由於(yú)多個(gè)顆(kē)粒同(tóng)時(shí)通過光敏區(qū)而成的顆粒漏檢。從外的(dí)資(zī)料中可(kě)以(yǐ)發現,當(dāng)計(jì)數器在額定粒(lì)子(zǐ)濃(nóng)度下檢測(cè)時,計數(shù)損失不(bù)得過 5%,重合誤(wù)差(chà)限(xiàn)製(zhì)了(liǎo)儀(yí)器所能(néng)檢測的濃度(dù)。
目前該計(jì)數器已被(bèi)廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)應用於(yú)半導(dǎo)體(tǐ),衛生(shēng),製藥,防疫等(děng)各行各(gè)業(yè)中(zhōng)。它(tā)采用(yòng)光(guāng)散射原理(lǐ)將粒子(zǐ)的光(guāng)散射(shè)信號通過光電(diàn)器件轉(zhuǎn)換成(chéng)電(diàn)信(xìn)號(hào),根(gēn)據(jù)電(diàn)信(xìn)號脈衝度的大小,經(jīng)過係列處理即可(kě)判斷(duàn)所測量(liáng)粒子粒徑(jìng)的大小,該方法(fǎ)具(jù)有自動,實時,不破壞測(cè)試狀(zhuàng)態(tài)等(děng)優(yōu)點(diǎn)。
隨(suí)著科的(dí)迅速(sù)發展(zhǎn),人(rén)們對(duì)計數器的(dí)要(yào)求(qiú)也越來越,需(xū)要(yào)檢測的(dí)粒(lì)徑也(yě)越來越(yuè)小(xiǎo),對儀器(qì)的準(zhǔn)確性(xìng)要(yào)求(qiú)越(yuè)來越嚴(yán)格(gé)。翻閱資料,我(wǒ)發現外(wài)外所(suǒ)有計數(shù)器的(dí)性能(néng)標(biāo)上(shàng)都(dū)有項術參數重合(hé)誤(wù)差。那(nà)麼(mó),重(zhòng)合(hé)誤差究竟(jìng)是怎(zěn)麼產(chǎn)生(shēng)的(dí)呢(ní)?
塵(chén)埃粒子計(jì)數器(qì)利用了光散(sàn)射原(yuán)理設計(jì)而成,采樣空氣以定(dìng)的流(liú)量從(cóng)開啟的吸(xī)氣(qì)口通(tōng)過有(yǒu)穩(wěn)定光(guāng)源(yuán)照(zhào)射的(dí)照(zhào)射(shè)區,光綫在(zài)空氣(qì)懸浮(fú)粒子上發(fā)生散射,向(xiàng)前和向內(nèi)的散(sàn)射光會聚(jù)在(zài)光電(diàn)倍(bèi)增(zēng)管之類(lèi)的光(guāng)電(diàn)元件上,轉換(huàn)成了電脈(mài)衝信號(hào)。利用脈(mài)衝峰值(zhí)與(yǔ)散射光強度成正(zhèng)比,而散(sàn)射(shè)光強度又(yòu)和(hé)粒子(zǐ)直徑大小(xiǎo)成定比例,就可(kě)以通過(guò)分析(xī)電脈(mài)衝信號(hào)峰值來選擇所需(xū)粒(lì)徑(jìng),後(hòu)通過計算選定的脈衝信號(hào)數(shù)目(mù)就可(kě)得到(dào)大於特定粒徑(jìng)的(dí)微粒(lì)數(shù)量(liáng),從(cóng)而(ér)測得定(dìng)氣(qì)體流量下的粒(lì)子(zǐ)濃(nóng)度(dù)。
當(dāng)有多個顆(kē)粒同時出現在光(guāng)敏(mǐn)區時(shí),光電器件所(suǒ)接(jiē)收的(dí)信號(hào)是(shì)所(suǒ)有(yǒu)顆(kē)粒散(sàn)射光的(dí)總(zǒng)和,這樣(yàng)儀器顯(xiǎn)示的測量(liáng)結果即為顆(kē)較大(dà)粒(lì)徑的(dí)粒(lì)子,顯(xiǎn)示(shì)的結果比(bǐ)實(shí)際數量(liáng)要少(shǎo)。計(jì)數器的光(guāng)敏區(qū)越大(dà),在光(guāng)敏區(qū)同時出現兩(liǎng)個(gè)甚至兩(liǎng)個(gè)以上(shàng)粒子的(dí)可(kě)能(néng)性(xìng)就越大。而氣(qì)體(tǐ)中粒子(zǐ)濃度越(yuè),光敏(mǐn)區同(tóng)時(shí)出(chū)現兩個(gè)以上(shàng)粒子的(dí)可能性也越大(dà)。重(zhòng)合誤(wù)差(chà)的大小直(zhí)接影響儀器所給(gěi)出測量(liáng)值(zhí)的準(zhǔn)確程(chéng)度。
而由於種(zhǒng)種條件的(dí)限製(zhì),我現(xiàn)有(yǒu)的(dí)校(xiào)準規(guī)範中(zhōng)並沒有對(duì)此(cǐ)項(xiàng)參(cān)數的(dí)要(yào)求。那麼,可以(yǐ)根(gēn)據公式計(jì)算(suàn)重合誤差(chà)。在動態(tài)情況下(xià),如果個(gè)粒子入(rù)光敏(mǐn)區(qū)之前(qián),光(guāng)敏(mǐn)區無何(hé)粒子,此時計數器仍然(rán)顯示(shì)為(wéi)個粒(lì)子(zǐ),這種(zhǒng)情況(kuàng)下粒(lì)子的計數由下(xià)式給(gěi)出:其中(zhōng),Ni 為儀器所(suǒ)顯示(shì)的(dí)粒(lì)子濃度;Nt 為粒子(zǐ)濃度(dù);V 為(wéi)光(guāng)敏區(qū)容積。此公式(shì)可以(yǐ)對(duì)常(cháng)規(guī)塵(chén)埃粒子計(jì)數(shù)器(qì)的重(zhòng)合(hé)計數誤差作個(gè)保(bǎo)守的(dí)計算(suàn)。
在實(shí)際應用(yòng)中(zhōng),我們可(kě)以(yǐ)通(tōng)過稀釋的辦法(fǎ)來減少(shǎo)重合(hé)計數的(dí)誤差,即(jí)降低 Nt ,但(dàn)是(shì)稀(xī)釋往往會引起大粒(lì)子(zǐ)的損失。這(zhè)裏要敲黑板(bǎn)了哦(ó),稀(xī)釋可(kě)以減少重(zhòng)合誤差(chà),那(nà)如何稀(xī)釋顆(kē)粒才能(néng)保證(zhèng)大(dà)粒(lì)子損(sǔn)失(shī)小呢(ní)?潔淨室(shì)及大濃度顆(kē)粒(lì)測(cè)量務中(zhōng)經(jīng)常需(xū)要準(zhǔn)確(què)稀釋(shì)氣(qì)溶(róng)膠(jiāo)顆粒,且要(yào)求氣溶(róng)膠(jiāo)稀(xī)釋(shì)前後(hòu)粒(lì)徑分布保持不變(biàn)。所以(yǐ),粒(lì)子(zǐ)稀釋器的應(yīng)用(yòng)越來越多(duō)。
電(diàn)子產品,藥(yào)產品,光學(xué)密器(qì)件等(děng)行業(yè)對潔淨室(shì)的潔淨度要(yào)求(qiú)越來(lái)越(yuè),所以用(yòng)來檢(jiǎn)測環境潔淨(jìng)等級(jí)的(dí)塵(chén)埃粒子計數器的準確性就變(biàn)得尤為(wéi)重要。而重合誤(wù)差使(shǐ)得(dé)我們(mén)的測量(liáng)結果低於實際情況(kuàng),產(chǎn)生定的計(jì)數損(sǔn)失(shī),這對於客觀的反映(yìng)實(shí)際環境的情(qíng)況(kuàng)是(shì)不(bù)利的(dí)。尤(yóu)其(qí)是(shì)測(cè)量大(dà)濃度(dù)顆(kē)粒(lì),重合誤差影響會更大,所以要情(qíng)況下,是(shì)需(xū)要使用粒子稀釋器稀釋氣溶膠(jiāo)顆粒。