當(dāng)前位置：首(shǒu)頁 > 產品中心 > 專用(yòng)儀(yí)器儀(yí)表 > 消解儀 > GSZ-RTS-4（SDY-4替代(dài)）四(sì)探針測試儀(yí)/四(sì)探針電阻(zǔ)率測試(shì)儀/四(sì)探(tàn)針檢(jiǎn)測(cè)儀/單測(cè)四(sì)探(tàn)針檢測儀（不能(néng)接(jiē)電腦）
描述：四(sì)探針測試儀/四(sì)探針電(diàn)阻率(shuài)測試儀/四探針檢(jiǎn)測儀/單測(cè)四(sì)探針檢測(cè)儀(不能接電腦） 型號：GSZ-RTS-4（SDY-4替(tì)代(dài)）GSZ-RTS-4型(xíng)數字式四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試儀是運用(yòng)四(sì)探(tàn)針測量原理的多(duō)用(yòng)途綜合測(cè)量設備(bèi)。該(gāi)儀(yí)器(qì)按(àn)照(zhào)單(dān)晶(jīng)矽(guī)物理測試(shì)方法(fǎ)家標(biāo)準並(bìng)參考美(měi) A.S.T.M 標準而(ér)的(dí)，用(yòng)於測試半導(dǎo)體材料電阻(zǔ)率及方塊(kuài)電(diàn)阻(zǔ)(薄(báo)層電阻)的用儀(yí)器。
廠(chǎng)商性(xìng)質(zhì)
生產廠家(jiā)更新時間
2024-04-15訪問量(liáng)
1060
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詳(xiáng)細介紹
| 品牌(pái) | 恒(héng)奧德(dé) |
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四(sì)探針測試儀/四探針電阻率(shuài)測試儀/四(sì)探(tàn)針(zhēn)檢(jiǎn)測儀/單測(cè)四(sì)探針(zhēn)檢(jiǎn)測儀（不能接(jiē)電腦(nǎo)） 型(xíng)號：GSZ-RTS-4（SDY-4替(tì)代）
GSZ-RTS-4型數字式四探針測(cè)試儀(yí)是運(yùn)用(yòng)四探針測(cè)量原理(lǐ)的多用(yòng)途綜(zōng)合(hé)測量設備。該(gāi)儀器按照(zhào)單(dān)晶矽物理(lǐ)測試(shì)方(fāng)法(fǎ)家(jiā)標準並參考美 A.S.T.M 標(biāo)準而的(dí)，用於測試半導(dǎo)體材料電阻(zǔ)率及方塊(kuài)電阻（薄層(céng)電阻(zǔ)）的用儀器(qì)。
儀(yí)器(qì)由(yóu)主機，測(cè)試台，四(sì)探針探頭(tóu)，計算(suàn)機(jī)等分組(zǔ)成，測(cè)量(liáng)數(shù)據既可由(yóu)主機(jī)直接顯示，亦(yì)可(kě)由計(jì)算(suàn)機控(kòng)製(zhì)測(cè)試采集測試(shì)數(shù)據(jù)到計(jì)算機中(zhōng)加(jiā)以分析，然(rán)後(hòu)以表格，圖形(xíng)方(fāng)式統(tǒng)計(jì)分析顯示(shì)測試結(jié)果。
儀器采(cǎi)用(yòng)了(liǎo)電(diàn)子(zǐ)行(háng)，裝配。具(jù)有能(néng)選擇直觀，測量(liáng)取(qǔ)數(shù)快，度，測(cè)量範圍(wéi)寬，穩定性好，結構(gòu)緊湊，易操作(zuò)等點(diǎn)。
本儀(yí)器適用(yòng)於半導(dǎo)體材(cái)料(liào)廠(chǎng)，半導體(tǐ)器件廠，科研單位(wèi)，等院(yuàn)校對半導體材(cái)料的電(diàn)阻性(xìng)能測試(shì)。
GSZ-RTS-4型(xíng)四探針(zhēn)軟件測試係統是(shì)個運(yùn)行在(zài)計(jì)算(suàn)機上擁有(yǒu)友好測試界麵的(dí)用戶(hù)程序(xù)，通過(guò)此(cǐ)測(cè)試程(chéng)序輔(fǔ)助(zhù)使用戶簡(jiǎn)便(biàn)地(dì)行各(gè)項(xiàng)測試(shì)及獲得(dé)測試(shì)數據(jù)並對(duì)測試數據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序(xù)控製(zhì)四(sì)探針測試(shì)儀行測量並采集測(cè)試(shì)數(shù)據，把采(cǎi)集到的(dí)數據在計算機中加以(yǐ)分(fēn)析，然(rán)後把(bǎ)測試數據(jù)以表格(gé)，圖(tú)形直(zhí)觀地(dì)記(jì)錄(lù)，顯(xiǎn)示出(chū)來(lái)。用(yòng)戶可(kě)對(duì)采集(jí)到(dào)的數(shù)據在電腦中保存(cún)或者打印以(yǐ)備日後(hòu)參(cān)考(kǎo)和(hé)查看，還(huán)可(kě)以把采(cǎi)集到的數(shù)據(jù)輸出(chū)到(dào)Excel中(zhōng)，讓用戶對(duì)數據行各種數(shù)據(jù)分(fēn)析
參數：
| 測(cè)量範圍 | 電阻率(shuài)：0.001～200Ω.cm（可擴展）； 方(fāng)塊(kuài)電阻(zǔ)：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）； 電(diàn)導率(shuài)：0.005～1000 s/cm； 電(diàn)阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可測(cè)晶(jīng)片直(zhí)徑(jìng) | 140mmX150mm（配(pèi)S-2A型(xíng)測試台）； 200mmX200mm（配S-2B型測試台）； 400mmX500mm（配(pèi)S-2C型測試台）； |
| 恒(héng)源 | 電(diàn)量(liáng)程分為0.1mA，1mA，10mA，100mA四檔，各檔(dàng)電連(lián)續(xù)可(kě)調 |
| 數(shù)字電壓(yā)表 | 量程(chéng)及表示形(xíng)式(shì)：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸(shū)入(rù)阻(zǔ)抗(kàng)：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯(xiǎn)示(shì)：四位(wèi)半(bàn)紅(hóng)色發光管數字顯示；性(xìng)，量(liáng)程(chéng)自動顯(xiǎn)示； |
| 四探(tàn)針探(tàn)頭(tóu)基本標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針(zhēn)間緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械遊(yóu)移(yí)率：≤0.3%； 探(tàn)針：碳化鎢或(huò)速鋼(gāng)Ф0.5mm； 探針壓力(lì)：5～16 牛頓（總(zǒng)力）； |
| 四探(tàn)針探頭應用參(cān)數 | （見探(tàn)頭附(fù)帶的合格(gé)證） |
| 模(mó)擬(nǐ)電阻測(cè)量相對誤差(chà) （ 按(àn)JJG508-87行） | 0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小於等於0.3%±1字 |
| 整機測量zui大相對(duì)誤差 | （用矽標(biāo)樣片(piàn)：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整機(jī)測(cè)量(liáng)標(biāo)準不確定(dìng)度(dù) | ≤5% |
| 計算(suàn)機(jī)通(tōng)訊接口(kǒu) | 並口(kǒu) |
| 標準使用(yòng)環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻幹擾； 無強光直射(shè)； |
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