紫外臭(chòu)氧清(qīng)洗(xǐ)機(jī)   型號：HAD-UV2

是一種幹(gān)法精(jīng)細清洗設(shè)備，可用於清(qīng)洗(xǐ)多(duō)種單晶基片，以成(chéng)好的(dí)成(chéng)膜質量(liáng)。同時(shí)也可(kě)去除(chú)光(guāng)刻膠(jiāo)，改(gǎi)善(shàn)材(cái)料表(biǎo)麵潤(rùn)濕性，清(qīng)洗SEM和TEM樣品(pǐn)及紫外(wài)活(huó)化聚合(hé)物等。

紫外臭(chòu)氧清(qīng)洗提供了一(yī)種(zhǒng)無酸(suān)，幹燥(zào)對材料(liào)無損傷(shāng)的(dí)原(yuán)子(zǐ)級別(bié)的清(qīng)洗手段，適合清(qīng)除(chú)一(yī)些有(yǒu)機(jī)化合(hé)物(wù)。紫外燈(dēng)主(zhǔ)要(yào)發出(chū)兩(liǎng)種波長的光：185nm和(hé)254nm，其(qí)中(zhōng)185nm的(dí)光(guāng)可把空氣(qì)中的(dí)氧(yǎng)氣(qì)變(biàn)為臭氧，254nm可以(yǐ)破壞化合物(wù)中的鍵（特別是(shì)碳碳鍵）；所(suǒ)以這兩種波(bō)長(cháng)的光(guāng)組合可有效地(dì)清(qīng)除(chú)有機化(huà)合物。

紫(zǐ)外臭氧清(qīng)洗(xǐ)機  參(cān)數(shù) 指(zhǐ)標(biāo)

材質(zhì) 內(nèi)部采用不鏽鋼(gāng)材(cái)料(liào)，耐酸鹼，防(fáng)腐蝕，美觀大(dà)方(fāng)

結構(gòu) 抽屉(tì)式樣品台(tái)，取，放(fàng)基板(bǎn)簡單，方便(biàn)

氣路(lù) 預留進(jìn)氣接口(kǒu)，豐富設(shè)備的清(qīng)洗(xǐ)種類

保(bǎo)護 抽(chōu)屉(tì)開合與UV燈工作(zuò)互(hù)鎖，避免紫外(wài)綫傷害

計時 按鍵定時器，數顯(xiǎn)倒(dǎo)計(jì)時，放便直(zhí)觀

操作 清洗工作進(jìn)程(chéng)可以任意時(shí)間(jiān)手(shǒu)動終止

可選(xuǎn)配件 可選臭氧中和器，避(bì)免臭氧(yǎng)傷害

電氣 指(zhǐ)標

清洗波段 185nm和254nm

距(jù)離UV燈(dēng)3-5mm平均(jūn)光強 28~32mW/cm²

燈管(guǎn) 雙波低壓汞燈(dēng)X2

燈管功(gōng)率 300W

燈(dēng)管(guǎn)尺寸(cùn) 300mm×300mm

照射(shè)區(qū)域(yù) 300mm×300mm（基台尺(chǐ)寸305×340mm）

可調照射距(jù)離 5~60mm

定(dìng)時器(qì)工作(zuò)範(fàn)圍(wéi) 0~99min99s  具(jù)有(yǒu)自動倒計(jì)時功(gōng)能

機械 指標

 進(jìn)，出氣口 進氣(qì)口：φ8mm，出(chū)氣口：φ50mm

設備外(wài)型(xíng)尺寸           長（ 430mm）×寬(kuān)（ 380mm）×高(gāo)（ 320mm）

（含臭(chòu)氧中(zhōng)和器(qì)的尺寸(cùn)為(wéi)）長580mm×寬380mm×高420mm

重量 26KG