四探針電阻率測試儀(yí)/四探(tàn)針電阻率儀(yí)/方(fāng)阻測(cè)試儀/方阻儀/四(sì)探針電(diàn)阻率測定儀  型(xíng)號：KDK-KDY-1

四探針電(diàn)阻(zǔ)率/方(fāng)阻測試儀（以下(xià)簡(jiǎn)稱電阻率測試儀）是用(yòng)來(lái)測(cè)量半(bàn)導體材料（主要是矽單晶(jīng)，鍺(zhě)單(dān)晶，矽片）電阻率，以及(jí)擴(kuò)散層(céng)，外(wài)延(yán)層，ITO導電(diàn)箔(bó)膜，導(dǎo)電(diàn)橡膠方塊電阻的測(cè)量(liáng)儀器。它主(zhǔ)要由(yóu)電(diàn)氣(qì)測(cè)量份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)），測試架(jià)及四探(tàn)針(zhēn)頭(tóu)組(zǔ)成。
本(běn)儀器的點(diǎn)是主機配置雙(shuāng)數字(zì)表，在測(cè)量電阻(zǔ)率的同時，另(lìng)塊數(shù)字表（以分(fēn)之(zhī)幾的度(dù)）適時監測(cè)程的(dí)電變(biàn)化，免(miǎn)除了(liǎo)測量電/測(cè)量電阻率的轉換，更(gēng)及(jí)時掌控測量電(diàn)。主機(jī)還提(tí)供度為0.05%的恒源，使測量電度(dù)穩定。本(běn)機配(pèi)有(yǒu)恒源開關，在(zài)測(cè)量某些箔層(céng)材(cái)料時(shí)，可免除探針尖與被(bèi)測(cè)材料(liào)之(zhī)間(jiān)接(jiē)觸(chù)火(huǒ)花的發(fā)生，地保(bǎo)護箔(bó)膜。儀器配(pèi)置了本(běn)公(gōng)司的產(chǎn)品(pǐn)：“小遊移四探針頭”，探針遊移率(shuài)在(zài)0.1～0.2%。保(bǎo)證(zhèng)了儀(yí)器(qì)測量電(diàn)阻率(shuài)的重復性和準確度。本機如加配(pèi)HQ-710E數據(jù)處(chǔ)理器，測量矽片時(shí)可自動(dòng)行(háng)厚度(dù)，直徑(jìng)，探(tàn)針間距的(dí)修(xiū)正(zhèng)，並(bìng)計算(suàn)，打印出(chū)矽(guī)片電阻(zǔ)率(shuài)，徑向(xiàng)電阻(zǔ)率的zui大百分(fēn)變(biàn)化，平(píng)均百分變化，徑(jìng)向電阻率不均習庋。給測量(liáng)帶來(lái)很(hěn)大方便。
2，主(zhǔ)機能(néng)數
（1）測(cè)量(liáng)範(fàn)圍(wéi)：
可(kě)測電(diàn)阻(zǔ)率：0.0001～19000Ω•cm
可測方(fāng)塊(kuài)電阻(zǔ)：0.001～1900Ω•□
（2）恒源(yuán)：
輸出(chū)電(diàn)：DC 0.001～100mA 五(wǔ)檔(dàng)連續可調(tiáo)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒度：各(gè)檔均(jūn)低於±0.05%
（3）直數字電壓(yā)表：
測量(liáng)範圍：0～199.99mV
靈(líng)敏(mǐn)度(dù)：10μV
基本誤(wù)差(chà)：±（0.004%讀數+0.01%滿度）
輸(shū)出電源(yuán)：≥1000ΩM
（4）供電電(diàn)源(yuán)：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率(shuài)：12W
（5）使用環境(jìng)：
溫(wēn)度(dù)：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強的(dí)電(diàn)場幹(gān)擾(rǎo)，無(wú)強光直接照(zhào)射(shè)
（6）重量，體(tǐ)積(jī)：
主(zhǔ)機(jī)重量(liáng)：7.5kg
體(tǐ)積：365×380×160（單位(wèi)：mm 長(cháng)度×寬(kuān)度(dù)×度(dù)）

備注：
等測(cè)量時(shí)（測(cè)電阻率(shuài)），度<3%
電氣測(cè)量時（測電阻(zǔ)），度(dù)在0.3%以(yǐ)內(nèi)

備注(zhù)：
儀器(qì)包(bāo)括(kuò)：主(zhǔ)機(jī)台；測試架（包括台(tái)麵）個；四(sì)探針頭4個(gè)；四探針20根(gēn)

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