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方塊(kuài)電阻測試儀是(shì)四探針(zhēn)方塊電阻測試儀(yí)中的(dí)新(xīn)代產(chǎn)品,門測量(liáng)半導(dǎo)體(tǐ)薄層電阻(麵電(diàn)阻)的新型儀器可(kě)用於測量般(bān)半導體材料,導(dǎo)電薄膜(mó)(ITO透明氧(yǎng)化(huà)膜)……等(děng)物質的薄層電阻(zǔ)。
方塊電(diàn)阻測試(shì)儀是(shì)種依(yī)照(zhào)類似的(dí)家標準和美(měi)A.S.T.M標(biāo)準,門測(cè)量半導體(tǐ)薄層電(diàn)阻(zǔ)(麵(miàn)電(diàn)阻(zǔ))的新(xīn)型儀(yí)器,可用於測量般(bān)半(bàn)導(dǎo)體材料,導電(diàn)薄膜(ITO透明氧(yǎng)化(huà)膜),金屬薄膜……等物質的薄層電(diàn)阻(zǔ)。
該(gāi)儀(yí)器(qì)以(yǐ)大規(guī)模(mó)集(jí)成(chéng)電(diàn)路為主(zhǔ)要(yào)核心;用基準電源(yuán)和運(yùn)算放(fàng)大器(qì)組成(chéng)度穩(wěn)源;帶回(huí)路(lù)有效正(zhèng)常(cháng)示電(diàn)路(lù);並(bìng)配以(yǐ)大(dà)型LCD顯示讀(dú)數,使儀器具(jù)有(yǒu)體(tǐ)積小,重(zhòng)量輕(qīng),外形美,易操作(zuò),測(cè)量(liáng)速(sù)度(dù)快,度的(dí)點(diǎn)。
雙(shuāng)電(diàn)測四(sì)探針(zhēn)測試儀(yí)采用了(liǎo)四探針雙(shuāng)位組合測(cè)量(liáng),利用(yòng)電探(tàn)針,電(diàn)壓(yā)探(tàn)針的變換(huàn),行兩(liǎng)次電測量,能自(zì)動消除樣品(pǐn)幾何尺(chǐ)寸,邊界效應(yīng)以及探針(zhēn)不等(děng)距(jù)和(hé)機械(xiè)遊移等(děng)因素對(duì)測(cè)量結果(guǒ)的(dí)影響,從(cóng)而(ér)提了(liǎo)測(cè)量結果的準確度。
雙電測四(sì)探針(zhēn)測(cè)試儀(yí)采(cǎi)用了(liǎo)四(sì)探針雙電測(cè)組合(hé)(亦稱(chēng)雙位組合)測(cè)量(liáng)新,將範德(dé)堡(bǎo)測量(liáng)方法推廣應(yīng)用到直綫四探針(zhēn)上(shàng),利用(yòng)電(diàn)探(tàn)針,電壓(yā)探(tàn)針(zhēn)的變(biàn)換,在計算(suàn)機(jī)控製(zhì)下(xià)行(háng)兩次(cì)電測量(liáng),能自動(dòng)消除樣(yàng)品(pǐn)幾何尺(chǐ)寸(cùn),邊界(jiè)效(xiào)應(yīng)以及探(tàn)針(zhēn)不(bù)等(děng)距和(hé)機(jī)械(xiè)遊移等因(yīn)素對(duì)測量結(jié)果(guǒ)的(dí)影(yǐng)響。因而每次(cì)測量不(bù)知(zhī)道探針間距(jù),樣(yàng)品尺寸及(jí)探(tàn)針在(zài)樣品表麵(miàn)上的(dí)位(wèi)置(zhì)。由於每(měi)次測量都是(shì)對(duì)幾何因(yīn)素的(dí)影響行動(dòng)態(tài)的自(zì)動(dòng)修(xiū)正,因(yīn)此顯(xiǎn)著降(jiàng)低了幾何因(yīn)素影響,從而提
雙電(diàn)測四探(tàn)針測(cè)試儀采用了四探針雙電測組(zǔ)合(hé)(亦稱(chēng)雙(shuāng)位組合)測量(liáng)新,將範德(dé)堡(bǎo)測量方(fāng)法(fǎ)推(tuī)廣(guǎng)應(yīng)用到直綫四探針上(shàng),利(lì)用(yòng)電探針,電(diàn)壓探針的(dí)變(biàn)換(huàn),在(zài)計算(suàn)機控(kòng)製(zhì)下(xià)行兩次電(diàn)測量,能(néng)自(zì)動消除(chú)樣(yàng)品幾(jī)何尺寸,邊(biān)界(jiè)效應以及(jí)探針不等(děng)距(jù)和機械遊(yóu)移等(děng)因素對(duì)測量結(jié)果的(dí)影(yǐng)響(xiǎng)。因而每(měi)次(cì)測(cè)量(liáng)不知(zhī)道探針間(jiān)距,樣品尺寸及探針在(zài)樣(yàng)品表(biǎo)麵上(shàng)的位(wèi)置(zhì)。由於每次測量(liáng)都是(shì)對(duì)幾何因素的影(yǐng)響行(háng)動(dòng)態的(dí)自動修正(zhèng),因此(cǐ)顯(xiǎn)著降低了幾(jī)何因(yīn)素影響,從(cóng)而(ér)提